精密XY工作台 AX型

精密XY移动单元适应多种用途高精度品种丰富AX/DX/EXCATALOGNo.124-7C0711009-fmfd.indd20711009-fmfd.indd22008-4-813:28:152008-4-813:28:15Contents▼精密XY移动单元AX构造与特长..........................................................2高精度移动单元的精度评价方法和系统...............3单轴移动单元／XY移动单元质量及精度表..........5单轴移动单元标准式样........................................7XY移动单元标准式样..........................................9单轴移动单元带软式伸缩防尘罩.......................11XY移动单元带软式伸缩防尘罩..........................13电机规格...........................................................15▼XY移动单元DX构造与特长........................................................19▼XY移动单元EX构造与特长........................................................2110711009-ny.indd10711009-ny.indd12008-1-179:06:142008-1-179:06:14ൻۯۉऐLMࡐۯڞࡆSR႙৛௢ࡐዩີߘDIF(BIF)႙精密XY移动单元AX●高精度精密XY移动单元AX型使用经精密研磨、断面高度低的LM滚动导轨SR型，具有多重约束结构，可实现高精度导向。●长期保持高精度导向部采用可靠性优异的LM滚动导轨，可在使用寿命内长期保持高精度。进给丝杠采用精密滚珠丝杠，是一种可无间隙地进行正确定位进给的移动单元。●丰富的品种备有50mm～500mm行程的标准品。另外还备有软式伸缩防尘罩型。※也可提供特殊式样，如有需要请咨询THK。AX型构造图构造与特长●组合式通过单轴移动单元的组合(而非使用传统专用座架的XY移动单元的组合)，可自由选择行程。●可根据用途选择移动单元精度AX型平台可根据各种用途选择三种平台精度。20711009-ny.indd20711009-ny.indd22008-1-179:06:172008-1-179:06:171.反复定位精度对任意一点从相同方向反复定位7次，测定停止位置，求出读数最大差的1/2。以该测定为原则，在移动距离的中点及靠近两端的各位置分别进行测定，在求出的值中以最大值为测定值，在最大差的1/2前加上±号，以该值作为反复定位精度。=t1t2!!!!!t7ڦፌٷֶڦ1/2t1t2t33.无效行程让平台进给移动，以其稍有移动时的检验千分表的读数为基准，从该状态开始不是通过进给装置，而是在平台上施加同方向的负荷，将此后开放时的基准与返回量的差作为测定值。此测定在移动距离的中点及靠近两端的各位置分别进行，在求出的值中以最大值为测定值。!!޶ࢁ࿋ᅎ(ࡤڑႠ࿋ᅎ)ś޶ࢁ৊ߴີߘ৊ߴ࿮ၳႜײݓ࣮ଉ2.定位精度以有效行程为基准长度，计算从基准位置实际移动的距离与指令值之间的最大误差的绝对值，以该值作为定位精度。(,)(.)ŗAŗAŗA(ဃֶ)0ኸସኵᅎۯਐ૗ŗA=|ํाᅎۯਐ૗Ċᅎۯਐ૗ڦኸସኵ|4.行走直线度A将移动单元安装在水平台面上，在平台顶面中间置一直尺，将固定在水平台面上的检验千分表接触已对中的直尺，使其在两端归零，然后在平台移动距离的整个区域内进行测定，以移动距离内的读数的最大差作为测定值。高精度移动单元的精度评价方法和系统30711009-ny.indd30711009-ny.indd32008-1-179:06:182008-1-179:06:187.行走直线度B在安装有移动单元的水平台面上置一直尺，将固定在平台上的检验千分表接触已对中的直尺，使其在两端归零，然后在平台移动距离的整个区域内进行测定，以移动距离内的读数的最大差为测定值。6.垂直度A以某一移动方向为基准，将直角尺固定在平台上，在垂直于基准移动轴的方向将检验千分表接触直角尺，以该轴移动距离内的读数的最大差为测定值。኱ঙ؅኱ঙ؅●其它评价方法8.垂直度B精密定位平台精度评价系统※检查规格项目根据JIS标准规定的评价项目设定。以某一移动方向为基准，将已对中的直角尺置于安装有移动单元的水平台面上，在垂直于直角尺基准移动轴的方向将固定在平台上的检验千分表接触直角尺，以该轴移动距离内的读数的最大差为测定值。኱ঙ؅ۉऐൻۯഗ੦዆ഗۉసٶᆇऐൻۯഗۉऐघ࠼֪ۨഗ5.平行度A将检验千分表固定在安装有移动单元的水平台面上，检验千分表的位置靠近平台顶面的中间，然后在平台移动距离的整个区域内进行测定，以移动距离内的读数的最大差为测定值。40711009-ny.indd40711009-ny.indd42008-1-179:06:182008-1-179:06:18P6±0.003P5±0.002P4±0.001P6±0.003P5±0.002P4±0.001P6±0.003P5±0.002P4±0.001●单轴移动单元●XY移动单元公称型号有效行程全行程搭载质量移动单元整体质量※(mm)(mm)(kg)(kg)A05506010A101001103012.5A1515016014.5精度等级反复定位精度(mm)A2020022040.0A2525027010042.0A3030032045.0A40400420145.0A50500520250155.0公称型号有效行程全行程搭载质量移动单元整体质量※(mm)(mm)(kg)(kg)AX050550×5060×6017.5AX051050×10060×11020.0AX051550×15060×1601522.0AX1010100×100110×11022.5AX1015100×150110×16024.5AX1515150×150160×16026.5精度等级反复定位精度(mm)P6±0.003P5±0.002P4±0.001P6±0.003P5±0.002P4±0.001P6±0.003P5±0.002P4±0.001AX2020200×200220×22071.5AX2025200×250220×27073.5AX2030200×300220×3205076.5AX2525250×250270×27075.5AX2530250×300270×32078.5AX3030300×300320×32081.5AX4040400×400420×420257AX4050400×500420×520100267AX5050500×500520×520277单轴移动单元／XY移动单元质量及精度表※电机、软式伸缩防尘罩除外。※电机、软式伸缩防尘罩除外。50711009-ny.indd50711009-ny.indd52008-1-179:06:192008-1-179:06:19●移动单元公称型号的组成例A25P4BE单轴移动单元定位精度(mm)无效行程(mm)行走直线度A上下·左右(mm)平行度A(mm)定位精度(mm)无效行程(mm)行走直线度A上下·左右(mm)平行度A(mm)垂直度A(mm)0.0300.0050.0100.0250.0100.0150.0030.0050.0120.0050.0070.0020.0030.0060.0030.0400.0050.0250.0300.0200.0200.0030.0070.0150.0100.0100.0020.0040.0070.0050.0600.0050.0400.0500.0300.0300.0030.0100.0250.0150.0150.0020.0050.0120.007○滚珠丝杠导程标准品使用5mm。○电机分辨率步进电机:500P/r(整步)、1000P/r(半步)AC伺服电机:2048P/r注)AC伺服电机分辨率可利用驱动部的电子齿轮功能进行变更。但是，不能进行4倍增(8192P/r)以上的设定。特殊式样特殊式样内容E:顶台等追加加工J:带软式伸缩防尘罩特殊式样内容E:顶台等追加加工J:带软式伸缩防尘罩电机种类A:步进电机(山洋电气(株)制)、带驱动器(无电缆)B:AC伺服电机(株)安川电机制)、带驱动器(无电缆)S:安装指定电机、驱动器移动单元精度　P6、P5、P4行程(250mm)型号AX25P4AEXY移动单元30特殊式样电机种类A:步进电机(山洋电气(株)制)、带驱动器(无电缆)B:AC伺服电机(株)安川电机制)、带驱动器(无电缆)S:安装指定电机、驱动器移动单元精度　P6、P5、P4X、上轴行程(250mm)Y、下轴行程(300mm)型号0.0250.0050.0080.0150.0150.0030.0040.0070.0060.0020.0020.0030.0300.0050.0100.0200.0200.0030.0050.0100.0080.0020.0030.0050.0500.0050.0150.0300.0250.0030.0070.0150.0130.0020.0040.00760711009-ny.indd60711009-ny.indd62008-1-179:06:202008-1-179:06:20A05～A15公称型号有效行程全长全　高底座尺寸顶台尺寸LSABML1WW1W2B1B2TA0550326339200A101003763896425015016015012410012A15150426439300A20200566542450A252506165928250025026025021014016A30300666642550A40400916912800A505001016101210090040042040035027020hM1B1B3W1WH21.5LL2FġNL1GGL3B2SR15V4ljM8ཚ੥EEljSX671(OMRON)OTᆩġ2Ljৎᇱۅᆩġ1BIF1205Zljød1ת੥ød2ק੥ศ܈d3W2HMM2T1EEljSX670(OMRON)ᇱۅᆩġ1ႜײ
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S2注)1.伺服电机规格不附带原点用传感器。2.带软式伸缩防尘罩的外形尺寸图参见P11。3.下表中的A、B表示:A:使用步进电机时的尺寸。B:使用AC伺服电机时的尺寸。单轴移动单元标准式样70711009-ny.indd70711009-ny.indd72008-1-179:06:212008-1-179:06:21A20～A50底座安装孔尺寸电机托架尺寸其它外形尺寸B3GF×N个Z个d1d2d3ABA/BA/BM1M2hABL3H1H2L2150×147225200×14711572826565333210126139125×26200×215025225×261117.553030808041381311692250×2175×427050200×41014201230309280524622116112单位:mmH2M1hW1WB3ႜײ
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S2W2LL2L1GL3H1B1GM2TFġNB2Zljød1ת੥ød2ק੥ศ܈d3DIF1605SR25WEE.SX671(OMRON)OTᆩġ2Ljৎᇱۅᆩġ14ljM10ཚ੥DIF2005(A40ᅜฉ)SR30W(A40ᅜฉ)EE.SX670(OMRON)ᇱۅᆩġ1M注)1.伺服电机规格不附带原点用传感器。2.带软式伸缩防尘罩的外形尺寸图参见P12。3.下表中的A、B表示:A:使用步进电机时的尺寸。B:使用AC伺服电机时的尺寸。80711009-ny.indd80711009-ny.indd82008-1-179:06:222